特許
J-GLOBAL ID：200903066077345937
半導体力学量センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-020799
公開番号（公開出願番号）：特開平11-220138
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 信号取出のために支持基板上に形成された配線パターンを利用する構成でありながら検出信頼性の向上を実現すること、及び斯様な効果を奏する半導体力学量センサを確実に製造できるようにすること。【解決手段】 単結晶シリコンより成る梁構造体4は、マス部5の両端を梁部6及び7を介してアンカー部4a及び4bに支持した形態となっており、マス部5の両側面からは、2個ずつの可動電極8a及び8bが一体的に突出形成されている。単結晶シリコンより成る第1の固定電極9、10及び第2の固定電極11、12は、可動電極8a及び8bと加速度検出用のコンデンサを形成するように形成されている。第1の固定電極9及び10に電気的に接続される第1の配線パターン13、第2の固定電極11及び12に電気的に接続される第2の配線パターン14、可動電極8a及び8bに電気的に接続される第3の配線パターン15は、それらが有する下部配線パターン13e、13f、14f、14g、15dを含めて単結晶シリコンにより形成される。
請求項（抜粋）：
支持基板上に電気的に絶縁された状態で支持され、力学量の印加に応じて変位する可動電極を一体的に有した単結晶半導体材料製のセンシング用構造体と、前記支持基板上に電気的に絶縁された状態で固定され、前記可動電極の変位に応じて当該可動電極との間の距離が変化するように設けられた単結晶半導体材料製の固定電極とを備え、前記可動電極及び固定電極間の距離変化に応じて印加力学量を検出するように構成された半導体力学量センサにおいて、前記可動電極及び固定電極と前記支持基板上の信号出力端子との各間を電気的に接続するために当該支持基板上に電気的に絶縁した状態で設けられた配線パターンを有し、その配線パターンを前記可動電極及び固定電極と同じ材質の単結晶半導体材料により形成したことを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 Z
, G01P 15/125
