特許
J-GLOBAL ID:200903066084582073
両端可動形同軸コンタクトプローブ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森山 哲夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-335689
公開番号(公開出願番号):特開平9-152447
出願日: 1995年12月01日
公開日(公表日): 1997年06月10日
要約:
【要約】【課題】 同軸構造でしかも両端でプランジャー14,14とアウタープランジャー26,26が可動である両端可動形同軸コンタクトプローブを提供する。【解決手段】 両端部でプランジャー14,14が可動するコンタクトプローブ10の外周に、筒状の絶縁部材18を嵌合固定しさらにその外周に導電材からなる第1のアウターチューブ20を嵌合固定する。この第1のアウターチューブ20の軸方向中央部外周に大径部20aを設け、その外周に導電材からなる第2のアウターチューブ22を嵌挿する。第2のアウターチューブ22を、軸方向中央部で第1のアウターチューブ20に固定し、軸方向両端部に第1と第2のアウターチューブ20,22の間に筒状の隙間を形成する。この隙間にコイルスプリング24,24と導電材からなり筒状のアウタープランジャー26,26をそれぞれ挿入し、しかもアウタープランジャー26,26が抜け出ないようにする。
請求項(抜粋):
両端部でプランジャーが可動するコンタクトプローブの外周に筒状の絶縁部材を嵌合固定し、この絶縁部材の外周に導電材からなる第1のアウターチューブを嵌合固定し、さらにこの第1のアウターチューブの外周に導電材からなる第2のアウターチューブを嵌挿し、軸方向中央部で前記第2のアウターチューブを前記第1のアウターチューブに固定するとともに軸方向両端部で前記第1と第2のアウターチューブの間に筒状の隙間をそれぞれに設け、この隙間に導電材からなり筒状のアウタープランジャーを軸方向に移動自在でしかも抜け出ないようにそれぞれに配設し、また前記隙間に前記アウタープランジャーを抜け出る方向に弾性付勢するコイルスプリングをそれぞれに配設して構成したことを特徴とする両端可動形同軸コンタクトプローブ。
IPC (3件):
G01R 1/06
, G01R 1/067
, G01R 31/02
FI (4件):
G01R 1/06 A
, G01R 1/067 H
, G01R 1/067 C
, G01R 31/02
引用特許:
審査官引用 (1件)
-
プローブ及び検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-224282
出願人:株式会社日立製作所, 日立テクノエンジニアリング株式会社
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