特許

J-GLOBAL ID：200903066140722851

テーブル機構

発明者： 上 喜裕
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-245169
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075927
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】可動テーブルが直線的に変位するテーブル機構を提供する。【解決手段】可動テーブル1は、スリットを有する四つの口形状ばね2a,2b,3a,3bにより支持されている。口形状ばね2a,2bは、直接、固定台11に接続され、口形状ばね3a,3bは、てこ拡大アーム4a,4bを介して、固定台11に接続されている。てこ拡大アーム4a,4bは、固定台11との接続部近くに、円弧切り欠き8a,8bを有している。圧電アクチュエータ10a,10bは、一端が固定台11に固定されており、他端は、てこ拡大アーム4a,4bに埋め込まれたピン9a,9bに接触している。てこ拡大アーム4a,4bからはピン9a,9bの反対側にアーム5a,5bが延びており、これはその中央近くに円弧切り欠き7a,7bを有し、その先の部分は固定台11に設けられた送りネジ6a,6bによって押圧されている。

請求項（抜粋）：

固定台と、固定台に対して移動可能な可動テーブルと、前記可動テーブルを第一の軸に対して対称に支持する第一の一対のばね部材と、前記可動テーブルを第一の軸に直交する第二の軸に対して対称に支持する第二の一対のばね部材と、前記第一の軸に対して対称に配置され、一端が前記第一のばね部材に接続され、他端が前記固定台に回転変位可能に接続された第一の一対の拡大アームと、前記第一の軸に対して対称に配置された、一端が前記第一の拡大アームを押圧し、他端が固定台に固定された第一の一対の圧電アクチュエータと、前記第一の圧電アクチュエータの押圧方向と逆向きに前記第一の拡大アームを押圧する第一の一対の予圧ばねと、前記第一の予圧ばねに荷重を加え、そのたわみ量を調整する、第一の一対の荷重調整機構とを備えていることを特徴とするテーブル機構。

IPC (5件)：

G05D 3/00 ,  G01N 13/10 ,  G02B 21/26 ,  G12B 5/00 ,  H01J 37/20

FI (6件)：

G05D 3/00 G ,  G05D 3/00 A ,  G01N 37/00 U ,  G02B 21/26 ,  G12B 5/00 T ,  H01J 37/20 D

Fターム (17件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB14 ,  2F078CC04 ,  2F078CC11 ,  2H052AD18 ,  2H052AD20 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5H303AA20 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB11 ,  5H303CC02 ,  5H303DD14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 微動駆動装置及びそれを用いた情報記録及び/又は再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-330425   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平2-040594
  
• ファイバーセンサーホルダー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-059686   出願人：三菱電機株式会社