紫外線照射方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103263
公開番号（公開出願番号）：特開2001-290000
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】物品に貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープに照射する紫外線の積算光量を全域にわたって一定にするとともに、装置の小型化を図る。【解決手段】ランプハウス12を首振り駆動することにより、粘着テープTを介してウエハWを支持しているマウントフレームMFに向けて紫外線を照射する。ランプハウス12の移動範囲が小さいので、装置を小型にできる。また、ランプハウス12の首振り角度(紫外線の照射角度)に応じて、制御部17がランプハウス12の首振り速度をコントロールすることにより、紫外線の照射領域の全体にわって紫外線の積算光量を一定にし、粘着テープTの粘着力を均一に低下させる。

請求項（抜粋）：

紫外線硬化型の粘着テープが貼付けられた物品に紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる方法であって、紫外線を首振り走査することにより、物品に貼付けられた粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射過程と、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量を一定にする制御過程とを備えたことを特徴とする紫外線照射方法。

IPC (3件)：

G21K 5/00 , B29C 35/08 , H01L 21/301

FI (3件)：

G21K 5/00 Z , B29C 35/08 , H01L 21/78 P

Fターム (13件)：

4F203AD08 , 4F203AD32 , 4F203AD35 , 4F203AK03 , 4F203AR07 , 4F203AR08 , 4F203AR20 , 4F203DA12 , 4F203DB01 , 4F203DC08 , 4F203DD08 , 4F203DF05 , 4F203DK13

引用特許：

出願人引用 (5件)

紫外線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-034713 出願人：日東電工株式会社
特開昭61-088819
特開平3-254115

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審査官引用 (7件)

紫外線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-034713 出願人：日東電工株式会社
特開昭61-088819
特開平3-254115

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