特許
J-GLOBAL ID:200903066176350225

導波装置、電気特性測定装置及び電気特性測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阿部 美次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-068106
公開番号(公開出願番号):特開平9-257851
出願日: 1996年03月25日
公開日(公表日): 1997年10月03日
要約:
【要約】【課題】 使用形態の試料の電気特性を容易、かつ、迅速に高精度で測定する。【解決手段】 空胴共振器または導波管で構成される導波装置1は、導波空間11を形成する金属壁面12に開口部13を有している。開口部13は、使用形態を有する試料2を、導波空間11の内部に導入し得る大きさを有する。試料2を挿入した導波装置2を励振すると共に、導波装置1の出力信号を解析することにより、試料2の電気特性を測定する。
請求項(抜粋):
試料の電気特性を測定するために用いられる導波装置であって、導波空間を形成する金属壁面に、少なくとも一つの開口部を有しており、前記開口部は、使用形態を有する前記試料を、前記導波空間内に導入し得る大きさを有する導波装置。
IPC (5件):
G01R 27/26 ,  G01R 29/08 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/28 ,  H01P 7/06
FI (5件):
G01R 27/26 Z ,  G01R 29/08 Z ,  G01R 31/00 ,  H01P 7/06 ,  G01R 31/28
引用特許:
審査官引用 (2件)

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