特許
J-GLOBAL ID：200903066226715785
ポリシラン系感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-262287
公開番号（公開出願番号）：特開平7-114188
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【構成】 式【化1】[式中、R1、R2、R3およびR4は置換もしくは無置換の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香族炭化水素基からなる群からそれぞれ独立して選択される基であり、そしてmおよびnは整数である。]で示される構造のポリシラン、光ラジカル発生剤および酸化剤を含有する感光性樹脂組成物。【効果】 ポリシランの光分解に対する感度が向上し、光分解に要する時間が短い感光性樹脂組成物が提供された。
請求項（抜粋）：
式【化1】[式中、R1、R2、R3およびR4は置換もしくは無置換の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香族炭化水素基からなる群からそれぞれ独立して選択される基であり、そしてmおよびnは整数である。]で示される構造のポリシラン、光ラジカル発生剤および酸化剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/075 511
, G03C 1/675
, G03F 7/004 503
, G03F 7/38 512
, H01L 21/027
H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 568
