特許

J-GLOBAL ID：200903066244481139

マイクロコーナーキューブアレイ、その作製方法、およびそれを用いた表示装置

発明者： 箕浦 潔 ,  伊原 一郎 ,  澤山 豊 ,  谷口 幸治 ,  植木 俊 ,  伊藤 康尚
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 奥田 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-306052
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066211
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 微小で且つ形状精度の高い単位要素を有するマイクロコーナーキューブアレイを作製する。【解決手段】 マイクロコーナーキューブアレイ10は、立方晶系の結晶からなる単結晶基板1,4であって結晶の{111}面と実質的に平行な表面を有する単結晶基板1,4を用意する工程と、この単結晶基板1,4の表面に対して異方性エッチング処理を行なう工程とによって作製される。異方性エッチング処理では、結晶の{111}面よりもエッチング速度が遅い結晶面を有する凹凸が形成される。

請求項（抜粋）：

立方晶系の結晶からなる単結晶基板であって、前記結晶の{111}面と実質的に平行な表面を有する単結晶基板を用意する工程と、前記単結晶基板の前記表面に対して異方性エッチング処理を行なう工程とを包含し、前記異方性エッチング処理によって、前記結晶の{111}面よりもエッチング速度が遅い結晶面を有する凹凸を形成するマイクロコーナーキューブアレイの作製方法。

IPC (4件)：

G02B 5/124 ,  B81C 1/00 ,  G02B 1/02 ,  G02F 1/1335

FI (4件)：

G02B 5/124 ,  B81C 1/00 ,  G02B 1/02 ,  G02F 1/1335

Fターム (15件)：

2H042EA03 ,  2H042EA14 ,  2H042EA15 ,  2H091FA14Z ,  2H091FB08 ,  2H091FC02 ,  2H091FC10 ,  2H091FC24 ,  2H091FC26 ,  2H091FC29 ,  2H091FD04 ,  2H091FD23 ,  2H091LA03 ,  2H091LA11 ,  2H091LA18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平4-501614
  
• 反射面およびその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-184926   出願人：松下電器産業株式会社
• 特表平6-510138