特許

J-GLOBAL ID：200903066283867923

圧電マクロ-ファイバー複合アクチュエータ及びその製造方法

発明者： ウィリアム・ウィルキー ,  ロバート・ブライアント ,  リチャード・ヘルバウム ,  ジェイムズ・ハイ ,  アントニー・ジャリンク ,  ブルース・リトル ,  ロバート・フォックス ,  ポール・ミリック
出願人/特許権者： アメリカ合衆国
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-535244
公開番号（公開出願番号）：特表2003-525755
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：

【要約】圧電マクロ-ファイバー複合アクチュエータの製造方法は、第1面及び第2面を有する圧電材料(20)を形成することを含む。更に、この方法は上記圧電材料を切断して並置された複数の圧電マクロ-ファイバーを形成することを含む。次いで、2つの導電性フィルム(28、42)が上記圧電材料の両面に接着剤により接着される。第1フィルム(28)は、互いに電気絶縁されるとともに上記圧電材料と電気接続された第1及び第2導電性パターン(30、32)を有する。上記第1フィルムにおける第1及び第2導電性パターンは、それぞれ、集積電極パターンを形成する、複数の電極を有する。一実施例において、第2フィルムはどのような導電性パターンも具備しない。別の実施例において、第2フィルム(42)は、上記第1フィルムにおける導電性パターンと同様、一対の導電性パターン(48、52)を有する。更に別の実施例において、圧電マクロ-ファイバー複合アクチュエータは、更に、導電性フィルムの一面と圧電材料の一面間にそれぞれ配置される、一対の異方性導電シート(210、212)を含む。

請求項（抜粋）：

圧電ファイバー複合アクチュエータを製造するにあたり、 第1面及び第2面を有する圧電材料により構造体を形成する段階; 上記構造体をスライスして並置された複数の圧電ファイバーを形成する段階; 第1及び第2導電性パターンを有する第1フィルムであって、上記第1導電性パターンが上記第2導電性パターンと電気的に絶縁され、上記第1及び第2導電性パターンが、それぞれ、交互配置電極パターンを形成するように協働する、複数の電極を具備した、第1フィルムを形成する段階; 第2フィルムを形成する段階;及び 上記構造体における第1面及び第2面とそれぞれ上記第1フィルム及び第2フィルムを接続し、上記第1フィルムの導電性パターンが上記圧電材料構造体と電気接続する段階を含む、圧電ファイバー複合アクチュエータの製造方法。

IPC (5件)：

B81C 3/00 ,  B81B 3/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00

FI (5件)：

B81C 3/00 ,  B81B 3/00 ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• パッケージ化歪みアクチュエータ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-520191   出願人：アクティブコントロールエクスパーツインコーポレイテッド