特許
J-GLOBAL ID：200903066293576544
部品検査方法、部品検査装置および製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-017199
公開番号（公開出願番号）：特開2006-210415
出願日： 2005年01月25日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】 固有のインピーダンスを高感度かつ高精度で検出して部品の差を定量的に比較して、部品単体レベルで性能および劣化度の管理を行なう検査方法および装置を実現する。【解決手段】 測定対象部品(1)を、電磁シールド(2、6)内で下側電極(3)および上側電極(4)に密着させる。下側電極およびシールドをアースに接地し、上側電極をシールドから絶縁体(5)により絶縁し、ネットワークアナライザ(8)から周波数を掃引して高周波信号を上側電極に供給して、そのインピーダンスを測定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アースに接地された電磁シールド環境内において、一方がアースに接地されかつ他方が電磁シールド環境から絶縁された1対の測定子で測定対象部品を挟み込むステップと、
前記他方の測定子を発振器を含む測定器に結合して、前記測定対象部品の固有インピーダンスおよび周波数特性の少なくとも一方を測定するステップとを備える、部品検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 101G
, C23C16/52
4K030FA10
, 4K030KA41
, 4K030LA15
, 5F004BA07
, 5F004BB11
, 5F004BB22
, 5F004BD04
, 5F004BD05
, 5F004CA03
, 5F004CA05
, 5F004CB05
