特許

J-GLOBAL ID：200903066297103837

欠陥検出方法およびその装置

発明者： 渡辺 幸穂
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-090362
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294230
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 表面に略一様なパターンが形成された被検査物の欠陥を効率良く検出することができる欠陥検出方法およびその装置を提供する。【構成】 撮影位置3aにある被検査物1を撮影して画像データを出力する画像入力装置4と、この画像データの明度分布を表すX行Y(X,Yは自然数)列の明度分布データに応じたM(MはX以下の自然数)行N(NはY以下の自然数)列の拡散分布データを求め、この拡散分布データに基づいて被検査物1の欠陥を検出する計算処理ユニット6とを有する。この計算処理ユニット6は、拡散分布データの第m(mはM以下の自然数)行第n(nはN以下の自然数)列目の要素を、明度分布データの第m行第n列目の要素とこの要素近傍の複数の要素とに基づいて決定する。

請求項（抜粋）：

表面に略一様なパターンが形成された被検査物を撮影して得られる画像データの明度分布を表すX行Y(X,Yは自然数)列の明度分布データに基づいて、前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法であって、前記X行Y列の明度分布データに応じたM(MはX以下の自然数)行N(NはY以下の自然数)列の拡散分布データを作成する過程であって、前記M行N列の拡散分布データの第m(mはM以下の自然数)行第n(nはN以下の自然数)列目の要素を、前記X行Y列の明度分布データの第m行第n列目の要素と該要素近傍の要素とに基づいて決定する明度拡散過程を有し、該明度拡散過程で得られた前記M行N列の拡散分布データに基づいて前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 異物検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-262428   出願人：株式会社フジクラ
• 特開昭57-024808