特許
J-GLOBAL ID：200903066306364908

樹脂封止装置および樹脂封止方法

発明者：
曽根 正明

曽根 正明 について

, 
米中 康久

米中 康久 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (3件)： 牧野 剛博 ,  高矢 諭 ,  松山 圭佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-107703
公開番号（公開出願番号）：特開2009-260054
出願日： 2008年04月17日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】圧力変化が大きな領域においても、簡便な方法で樹脂封止の圧力異常判定を的確に行う。【解決手段】キャビティ42内に配置した基板Kを樹脂にて封止するための樹脂封止装置22であって、標準となる圧力波形Psを記憶する記憶部72と、キャビティ42内の樹脂の実圧力を検出する圧力センサ70と、標準圧力波形Psに基づいて実圧力の許容範囲を設定する演算部74と、実圧力が許容範囲を超えた場合に異常判定を行なう比較・判定部78と、を備え、特定の時点Tでの許容範囲を、標準圧力波形Psにおける時間軸上の当該特定の時点T以外の圧力値にも基づいて設定する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
キャビティ内に配置した被成型品を樹脂にて封止するための樹脂封止装置であって、 標準となる圧力波形を記憶する手段と、 前記キャビティ内の前記樹脂の実圧力を検出する手段と、 前記標準圧力波形に基づいて前記実圧力の許容範囲を設定する手段と、 前記実圧力が前記許容範囲を超えた場合に異常判定を行なう比較・判定手段と、を備え、 特定の時点での前記許容範囲が、前記標準圧力波形における時間軸上の当該特定の時点以外の圧力値にも基づいている ことを特徴とする樹脂封止装置。
IPC (3件)：
H01L 21/56 ,  B29C 45/02 ,  B29C 45/77
FI (3件)：
H01L21/56 T ,  B29C45/02 ,  B29C45/77
Fターム (21件)：
4F206AA36 ,  4F206AC01 ,  4F206AD08 ,  4F206AG03 ,  4F206AH37 ,  4F206AM22 ,  4F206AP03 ,  4F206AR03 ,  4F206JA02 ,  4F206JB17 ,  4F206JD04 ,  4F206JF05 ,  4F206JL02 ,  4F206JP15 ,  4F206JP17 ,  4F206JQ31 ,  5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA21 ,  5F061CA22 ,  5F061DB01
引用特許：
出願人引用 (1件)

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