点状電極の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077051
公開番号（公開出願番号）：特開平6-060805
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】多数の材料を簡単に使用し得る点状電極の製造方法をていきょうせんとするものである。【構成】点状電極28(フィールドエミッタ)を蒸着の代わりに指向性スパッタリング堆積により極めて簡単に得る。スパッタリングすべき材料12の指向性堆積はコリメーティングフィルタ4および所望に応じカバープレート8により行う。

請求項（抜粋）：

基板の主面に平行な断面が頂部よりも基部大きくなる少なくとも1つの電極を基板に製造するに当たり、この電極を形成する材料を基板の主面に平行に且つ形成すべき電極の位置に開口が設けられたマスクを介して基板に堆積し、前記マスクでは前記材料を堆積中前記開口内に横方向にも成長させるようにした点状電極の製造方法において、前記電極を製造する材料を基板の主面にほぼ垂直にスパッタリングすることにより堆積する少なくとも1つのステップを具えるようにしたことを特徴とする点状電極の製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/02 , H01J 1/30

引用特許：

出願人引用 (5件)

平行化して付着する装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-026636 出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
特開昭62-172631
特開平3-261031

全件表示

審査官引用 (5件)

平行化して付着する装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-026636 出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
特開昭62-172631
特開平3-261031

全件表示

前のページに戻る