特許
J-GLOBAL ID：200903066374150010
熱式流速センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215076
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051954
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 例えば自動車のエンジン制御システムに用いられる空気流量センサに関し、特にその出力感度を向上させることを目的とする。【解決手段】 本発明に関する空気流量センサは、異方性エッチングにより薄肉部3を形成した半導体基板1と、この薄肉部3上に形成された発熱抵抗体5と、この発熱抵抗体5の上流側と下流側に少なくとも2つずつ設けられた感温抵抗体6,7,33,34とから構成され、感温抵抗体33と34の抵抗値が流速によって変化することを利用して、温度差検出回路の利得や定電流値やバイアス電圧に流量依存性を持たせており、空気流量センサの感度を向上させることができるうえ、測定可能流量範囲の拡大も可能である。
請求項（抜粋）：
薄肉部が形成された半導体基板と、この薄肉部に形成された発熱部と、同じく薄肉部に形成され、前記発熱部の上流側および下流側にそれぞれ配置された上流側および下流側温度検出部と、前記発熱部の極めて近傍に設けられた第3の温度検出部を備えるとともに、前記上流側温度検出部より上流側に流体温度検出部を備え、前記発熱部を前記流体温度検出部により検出された流体温度に対して定温度差駆動した時に前記上流側温度検出部、下流側温度検出部、および第3の温度検出部との間に生じる温度差から流速を検出するようにしたことを特徴とする熱式流速センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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感熱式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-307269
出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
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特開昭60-142268
審査官引用 (2件)
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感熱式流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-307269
出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
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特開昭60-142268
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