特許

J-GLOBAL ID：200903066399853253

静電容量型圧力センサ

発明者： 西田 宏
出願人/特許権者： 住友精密工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-274303
公開番号（公開出願番号）：特開2009-103531
出願日： 2007年10月22日
公開日（公表日）： 2009年05月14日
要約：

【課題】圧力が掛かった際に柔軟に変形して電極間距離が変化する静電容量型圧力センサを提供することである。【解決手段】電極3,4間に誘電体2を備え、前記誘電体2の一部又は全部を、膨張又は収縮が可能な気泡構造体9とした。静電容量型圧力センサ1に圧力が作用すると、誘電体2の気泡構造体9が収縮又は膨張し、電極3,4間の距離が変化して静電容量が変化する。静電容量と圧力の大きさとは予め関連付けられており、静電容量が変化することをもって圧力を検出する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

電極間に誘電体を備えており、前記誘電体の一部又は全部が、膨張又は収縮が可能な気泡構造体であることを特徴とする静電容量型圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 9/12

FI (1件)：

G01L9/12

Fターム (9件)：

2F055AA12 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055FF38 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 静電容量型圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-024702   出願人：アルプス電気株式会社