特許

J-GLOBAL ID：200903066421021844

重合体組成物および研磨パッド

発明者： 長谷川 亨 ,  中西 英雄 ,  小林 豊 ,  河村 知男 ,  小川 俊博
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-034416
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 優れたスラリー保持性を有し、しかも、高い硬度を有する研磨パッドを得ることのできる重合体組成物を提供すること。研磨速度が高く、しかも、被処理物に対して、平坦性の高い表面を形成することができる研磨パッドを提供すること。【解決手段】 本発明の重合体組成物は、ショアーD硬度が35以上である非水溶性の熱可塑性重合体中に、5〜60体積%の水溶性物質が分散されてなり、当該水溶性物質の平均粒径が0.1〜500μmであることを特徴とする。本発明の研磨パッドは、上記の重合体組成物よりなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ショアーD硬度が35以上である非水溶性の熱可塑性重合体中に、5〜60体積%の水溶性物質が分散されてなり、当該水溶性物質の平均粒径が0.1〜500μmであることを特徴とする重合体組成物。

IPC (4件)：

C08L101/00 ,  B24B 37/00 ,  C08J 5/14 ,  C08K 3/24

FI (4件)：

C08L101/00 ,  B24B 37/00 C ,  C08J 5/14 ,  C08K 3/24

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 改良研磨パッド及びこれに関連する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-507086   出願人：ローデルホールディングスインコーポレイテッド