特許

J-GLOBAL ID：200903066439199497

慣性センサおよびその製造方法および電気・電子機器

発明者： 松久 和弘 ,  福元 康司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-058595
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224229
出願日： 2007年03月08日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：

【課題】動作不良を起こさず、応答性の低下がない、高出力、広ダイナミックレンジの慣性センサを提供することを可能とする。【解決手段】支持部103-1〜103-4に一端が支持された弾性支持体102-1〜102-4と、前記弾性支持体102-1〜102-4の他端側に支持された振動子101-1、101-2とを有する慣性センサ素子11を複数備え、前記各慣性センサ素子11で検出された出力値が加算されて出力されることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持部に一端が支持された弾性支持体と、前記弾性支持体の他端側に支持された振動子とを有する慣性センサ素子を複数備え、 前記各慣性センサ素子で検出された出力値が加算されて出力される ことを特徴とする慣性センサ。

IPC (5件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125 Z ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (11件)：

2F105AA08 ,  2F105BB05 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD06 ,  2F105CD07 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-113081   出願人：株式会社デンソー
• 角速度センサの調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-249568   出願人：ミヨタ株式会社
• 特開08-312265号公報
  

審査官引用 (4件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-077678   出願人：三菱電機株式会社
• 振動子装置及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-286212   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-070370   出願人：日本航空電子工業株式会社
• 角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-307632   出願人：ソニー株式会社