特許
J-GLOBAL ID:200903066460926315

元素分析方法および元素分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-350151
公開番号(公開出願番号):特開平9-318542
出願日: 1996年12月27日
公開日(公表日): 1997年12月12日
要約:
【要約】【課題】 元素の分析を高感度かつ高精度に行うことができる元素分析方法および元素分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】 プラズマトーチ2のプラズマ室2dは、先端に行くほど絞られた円錐台形状となっている。加えて、その周囲には高周波付加用のコールドコイル3が配置されている。そして、Arが供給されている状態でコールドコイル3により高周波(27.12MHz)を印加することで、プラズマ室2dではプラズマ4が発生する。
請求項(抜粋):
分析対象の試料を解離させることで生じた原子を用いて前記試料を分析する元素分析方法において、供給されるプラズマ源となるガスによるプラズマを先端ほど径が小さい形状を有するトーチ内で発生させ、前記ガスをキャリアとして前記試料を気化した試料気流または前記試料の成分を含む試料気流を前記プラズマに導き、前記試料気流または前記試料気流を含むプラズマをスパイラル気流にし、前記試料の成分を解離し、その解離により生じた原子の状態により前記試料の分析を行うことを特徴とする元素分析方法。
IPC (4件):
G01N 21/73 ,  G01J 3/42 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/62
FI (4件):
G01N 21/73 ,  G01J 3/42 Z ,  G01N 27/62 G ,  G01N 1/28 T
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-026099
  • 特開平4-065059

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