欠陥検査装置、欠陥検査方法および記憶媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001479
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206052
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】良好な検出感度で、検査対象物の欠陥(斑)を確実に検出することができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。【解決手段】ラインセンサ3は、検査対象物1を1ラインずつ画像データとして取り込む。フィルタ処理部9は、上記画像データをフィルタ処理し、欠陥部を強調する。基準画像設定部8は、欠陥部がない部分の基準画像データを設定する。閾値演算部10は、基準画像データおよびフィルタ処理された基準画像データに基づいて、欠陥部を検出するための閾値Diを算出する。2値化部11は、検査中、閾値Diに基づいて、フィルタ処理された画像データBi ́から、欠陥部を「1」、正常部を「0」として2値化する。

請求項（抜粋）：

検査対象物表面における色調の濃淡を検査画像データとして取り込むと共に基準原画像データを取り込む取込手段と、前記取込手段により取り込んだ基準原画像データに基づいて基準画像データを設定する基準画像設定手段と、基準画像データ及び検査画像データに対して所定のフィルタ処理を施して濃度変化を強調するフィルタ手段と、前記フィルタ手段によるフィルタ処理後の基準画像データの濃度分布に基づいて閾値を設定する閾値設定手段と、前記閾値設定手段により設定された閾値に基づいて、前記フィルタ手段によるフィルタ処理後の検査画像データを2値化する2値化手段とを具備し、前記2値化手段により2値化されたデータに基いて前記検査対象物表面における欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G06T 7/00

FI (2件)：

G01N 21/88 J , G06F 15/62 400

Fターム (23件)：

2G051AA32 , 2G051AA41 , 2G051AB07 , 2G051AC04 , 2G051AC21 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC03 , 2G051ED09 , 5B057BA30 , 5B057CG04 , 5B057CH09 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB08 , 5B057DC39

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-070553
斑検出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-109280 出願人：東芝エンジニアリング株式会社
明欠陥/暗欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280965 出願人：東芝エンジニアリング株式会社

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審査官引用 (8件)

特開平4-070553
斑検出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-109280 出願人：東芝エンジニアリング株式会社
明欠陥/暗欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280965 出願人：東芝エンジニアリング株式会社

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