特許

J-GLOBAL ID：200903066513623719

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： 頼 華子 ,  沢辺 賢
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-378832
公開番号（公開出願番号）：特開2005-141084
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】 感度、解像性及び基板との密着性の全ての特性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 本発明の感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性バインダーポリマーと、(B)少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)マレイン酸誘導体とを含むことを特徴とする。かかる感光性樹脂組成物は、光重合開始剤及びマレイン酸誘導体の両方を含んでいるため、光重合開始剤の含有量を少なくしたした場合であっても高感度を達成できる。このため、感光性樹脂組成物の解像度及び密着性も良好となり、これにより、高密度のレジストパターン及びプリント配線板の製造にも好適に応用できる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性バインダーポリマーと、(B)少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)マレイン酸誘導体と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

FI (4件)：

G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D

Fターム (33件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343BB24 ,  5E343BB67 ,  5E343CC63 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08

引用特許：

出願人引用 (15件)

• 独国特許発明2027467号明細書
  
• 特開昭62-79243号公報
  
• 特開昭49-58196号公報
  
• 特開昭50-123138号公報
  
• 特開昭51-47940号公報
  
• 特開昭52-988号公報
  
• 特開昭55-160010号公報
  
• 欧州特許出願公開第11786号明細書
  
• 欧州特許出願公開第220号明細書
  
• 欧州特許出願公開第589号明細書
  
• プリント配線板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-245476   出願人：日本合成化学工業株式会社
• 米国特許第3479185号明細書
  
• 重合方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-040154   出願人：フュージョンシステムズコーポレイション
• 特開昭61-250064号公報
  
• 特開昭62-64813号公報