特許
J-GLOBAL ID：200903066523412058
多色薄膜エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084882
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274989
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】蛍光体層の膜質への影響なくパターニングを行い、発光特性とその信頼性の高い多色薄膜EL素子の製造方法を提供する。【解決手段】基板11上に少なくとも、電極21、絶縁層31、アルカリ土類硫化物を主成分とする蛍光体層4d、絶縁層32および電極22よりなる多層膜が形成されてなる多色薄膜エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記蛍光体層をレーザ光を用いて切断し、所定のパターンに形成する工程を含むこととし、あるいは、硫化水素雰囲気中で熱処理することによりパターニングされた金属薄膜とその上に成膜された蛍光体薄膜を除去するリフトオフ工程を含むこととする。33は蛍光体層4dの保護層である。
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも、電極、絶縁層、アルカリ土類硫化物を主成分とする蛍光体層、絶縁層および電極層よりなる多層膜が形成されてなる多色薄膜エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記蛍光体層をレーザ光を用いて切断し、所定のパターンに形成する工程を含むことを特徴とする多色薄膜エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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