特許
J-GLOBAL ID：200903066544613282

無機材料膜、無機材料膜構造物、およびその製造方法並びに転写フィルム

発明者：
高木 良博

高木 良博 について


出願人/特許権者：
富士フイルムアーチ株式会社

富士フイルムアーチ株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-146327
公開番号（公開出願番号）：特開2004-345917
出願日： 2003年05月23日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】低誘電率であって、しかも高精度で微細な構造を有した無機材料膜、無機材料膜構造物、およびその製造方法並びにその製造が容易で、かつ基板に良好に密着し、また現像性も良好な感光性組成物を有する転写フィルムを提供すること。【解決手段】少なくとも無機粉末を含む感光性組成物を焼成して得られる多孔性の無機材料膜であって、該無機材料膜は、空隙面積率が5〜75%で、空隙サイズが0.1〜30μmである無機材料膜。該感光性組成物を基板上に設け、露光、現像処理してパターンを形成し、その後、焼成する無機材料膜構造物の製造方法。可撓性仮支持体上に上記感光性組成物からなる塗布層を有する転写フィルム。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも無機粉末を含む感光性組成物を焼成して得られる多孔性の無機材料膜であって、該無機材料膜は、空隙面積率が5〜75%で、空隙サイズが0.1〜30μmであることを特徴とする無機材料膜。
IPC (11件)：
C01B35/12 ,  C01B33/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  G03F7/40 ,  G09F9/00 ,  H01J11/00 ,  H01J11/02 ,  H01J17/04 ,  H01J29/87 ,  H01L21/316
FI (12件)：
C01B35/12 D ,  C01B33/12 A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/032 ,  G03F7/40 ,  G09F9/00 338 ,  H01J11/00 A ,  H01J11/02 B ,  H01J17/04 ,  H01J29/87 ,  H01L21/316 G
Fターム (87件)：
2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA48 ,  2H025CB04 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CC08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H089HA36 ,  2H089HA40 ,  2H089JA10 ,  2H089QA16 ,  2H092GA50 ,  2H092HA20 ,  2H092HA24 ,  2H092NA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  2H096LA16 ,  4G072AA35 ,  4G072AA36 ,  4G072BB09 ,  4G072BB10 ,  4G072FF01 ,  4G072GG02 ,  4G072GG03 ,  4G072HH14 ,  4G072JJ26 ,  4G072MM02 ,  4G072MM36 ,  4G072MM38 ,  4G072RR13 ,  4G072UU01 ,  4G072UU04 ,  5C032AA07 ,  5C032CC10 ,  5C032CD06 ,  5C040FA01 ,  5C040FA02 ,  5C040FA09 ,  5C040GD07 ,  5C040GF18 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040KA08 ,  5C040KA10 ,  5C040KA11 ,  5C040KA14 ,  5C040KA16 ,  5C040KA17 ,  5C040KB19 ,  5C040LA17 ,  5C040MA12 ,  5C040MA22 ,  5C040MA24 ,  5F058BA20 ,  5F058BC05 ,  5F058BD07 ,  5F058BF47 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ01 ,  5G435AA16 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435HH14 ,  5G435HH16 ,  5G435HH18 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09
引用特許：
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM