特許
J-GLOBAL ID：200903063703985090
無機物質含有感光性樹脂組成物、それを用いる感光材料および隔壁形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143139
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338129
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 高さの高い隔壁を形成するに足りる十分な感度を有し、高精度のパターン加工を可能にする無機微粒子含有感光性組成物を提供する。また、高さがあっても十分な強度、透明性および高精度のパターン形状を有するプラズマディスプレイ用隔壁の製造方法を提供する。【解決手段】 無機微粒子、水溶性基置換セルロースエステル、感光剤、光硬化剤および加水分解重合性有機金属化合物を含有することを特徴とする無機物質含有感光性組成物。また、その組成物を基板上に塗布し、マスクを用いるパターン露光と現像によって無機物質含有感光性組成物のパターンを形成させ、ついでこれを400°C以上に焼成して有機物成分を除去して無機物の隔壁構造を形成させるプラズマディスプレイ用の隔壁形成方法。
請求項（抜粋）：
無機微粒子、水溶性基置換セルロース誘導体、感光剤、光硬化剤および加水分解重合性有機金属化合物を含有することを特徴とする無機物質含有感光性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/004 501
, C08F 2/50
, C08K 3/00
, C08K 3/40
, C08K 5/56
, C08L 1/08
, H01J 9/02
, H01J 17/49
G03F 7/004 501
, C08F 2/50
, C08K 3/00
, C08K 3/40
, C08K 5/56
, C08L 1/08
, H01J 9/02 F
, H01J 17/49 Z
