特許
J-GLOBAL ID：200903066558883100
放射線検出装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-219309
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061535
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 蛍光体塗布工程が終了した時点での不良により、高価な光検出器部分も同時に不良となってしまうことがなく、また、開口率を大きくしても、基体の強度が弱くならず、ハンドリング時のたわみ等により画像ムラが発生することがない放射線検出装置を実現する。【解決手段】 光検出器22の複数の画素1の配置に対応した開口部23を有する遮光用メッシュ板17の片面に強度保持用板16を貼り合わせる工程と、前記開口部23に蛍光体20を分離して充填することにより蛍光板を作製する工程と、前記蛍光板と、前記光検出器を形成した基板22とを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法及び放射線検出装置。
請求項（抜粋）：
蛍光板と光検出器を組み合わせてなる放射線検出装置において、前記蛍光板は、前記光検出器の複数の画素配置に対応した開口部を有する遮光用メッシュ板と、該遮光用メッシュ板の片面に貼り合わせられた強度保持用板と、前記開口部に分離して充填された蛍光体と、を具備し、前記蛍光板と、前記光検出器を形成した基板とを貼り合わせて構成したことを特徴とする放射線検出装置。
IPC (3件)：
G01T 1/20
, H01L 27/14
, H01L 31/09
G01T 1/20 E
, G01T 1/20 B
, H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
