特許
J-GLOBAL ID：200903066564656000
シリカガラス治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-097494
公開番号（公開出願番号）：特開平8-277146
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【構成】シリカガラス表面に薄膜が蒸着したる積層シリカガラス治具において、前記シリカガラスがクリストバライト結晶相とシリカガラス相からなる結晶相含有シリカガラスであるシリカガラス治具。【効果】本発明のシリカガラス治具は、高純度で、耐熱性が高く、しかも治具を構成する結晶相含有シリカガラスの熱膨張係数が表面の耐プラズマ用薄膜と同程度であるところから、パーティクルによるシリコンウエーハの汚染がない寿命の長い治具である。
請求項（抜粋）：
シリカガラス表面に薄膜が蒸着したシリカガラス治具において、前記シリカガラスがクリストバライト結晶相とシリカガラス相とからなる結晶相含有シリカガラスであることを特徴とするシリカガラス治具。
IPC (3件)：
C03C 10/14
, C23C 14/16
, H01L 21/302
C03C 10/14
, C23C 14/16 Z
, H01L 21/302 Z
