特許

J-GLOBAL ID：200903066588238110

製造装置及び製造条件制御方法

発明者： 入江 亮太郎 ,  組橋 孝生 ,  竹村 佳昭 ,  牛尾 二郎 ,  丸泉 琢也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-053941
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250384
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 製造依頼人が要求する性質を有する製品を製造するための加工条件を効率的に(従来に比べ少ない実験回数で)割り出すための方法及びその方法を用いる製造装置を提供する。【構成】加工条件最適化用コンピュータ105において、加工条件において製造される製品の性質と製造依頼人により要求される性質との誤差(誤差評価関数)をある一定の尺度で評価する機能を有し、初期加工条件における誤差評価関数の値及び1階偏微分を、初期加工条件及びそれを表現するベクトルの1成分を変更することにより得られる加工条件において実験システム(101〜104、107〜109)を用いて製造される各製品の性質に基づいて計算し、初期加工条件における前記誤差評価関数の2階よりも高次の偏微分をプロセス予測用コンピュータ106を用いて計算し、多変数p次関数の極小化アルゴリズムにより、誤差評価関数をヨリ小さくする加工条件を予測する。

請求項（抜粋）：

製品の前駆体を加工し製品を製造する手段と、製造された製品の性質を測定する手段と、ベクトル変数として与えられた加工条件において製造される製品の性質と製造依頼人により要求される性質との誤差である誤差評価関数をある一定の尺度で評価する機能を有し、加工後の製品の性質を予測する理論的モデルに基づき前記誤差評価関数が最小となる加工条件を予測し、前記の予測された初期加工条件における前記誤差評価関数の値及び1階偏微分を、前記初期加工条件及びそれを表現するベクトルの1成分を変更することにより得られる加工条件において製造される各製品の性質に基づいて評価し、前記初期加工条件における前記誤差評価関数の2階よりも高次の偏微分を前記理論的モデルに基づいて評価し、多変数p次関数の極小化アルゴリズムにより(ただし、pは有限の正の整数)、前記誤差評価関数を小さくする加工条件を予測する手段と、理論的モデルに基づき、与えられた加工条件で製造される製品の性質を予測する手段と、加工条件を加工手段に設定する手段と、を具備することを特徴とする製造装置。

IPC (10件)：

H01L 21/02 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/52 ,  C23F 4/00 ,  G05B 13/02 ,  G05B 23/02 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/66

FI (10件)：

H01L 21/02 Z ,  C23C 14/24 V ,  C23C 16/52 ,  C23F 4/00 A ,  G05B 13/02 K ,  G05B 23/02 R ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 Z ,  H01L 21/66 Z