特許

J-GLOBAL ID：200903066595813111

感放射線性樹脂組成物

発明者： 原田 純江 ,  宇高 友広 ,  辻 隆幸 ,  島 基之
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-058057
公開番号（公開出願番号）：特開2006-243293
出願日： 2005年03月02日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 微細パターン形成を高精度で安定的して形成することができ、長期高温保存しても異物の発生を抑制することができる。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤と、溶剤と、水とを少なくとも含み、この水が感放射線性樹脂組成物全体に対して、0.03質量%以上3質量%未満であり、この加えられる水は上記溶剤に溶解されており、酸解離性基含有樹脂は側鎖に脂環式炭化水素基を有するアクリル系樹脂である。【選択図】 無

請求項（抜粋）：

アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤と、溶剤と、水とを少なくとも含む感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平2-27660号公報
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-010239
  
• ネガ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-042339   出願人：東京応化工業株式会社