特許
J-GLOBAL ID：200903066612054262

電動ステージ付き顕微鏡

発明者：
山下 青峰

山下 青峰 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-242112
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075215
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】顕微鏡の視野が、被検査物の外にまたは検査領域の外に移動することを防止して、ステージ駆動の操作性を向上させる。【解決手段】本発明は、XY方向に駆動可能なステージと、ステージ上に載置された被検査物を拡大する光学系とを有する顕微鏡に関する。ステージ駆動制御部は、駆動操作入力に応答してステージの駆動を指示すると共に、ステージの位置情報を入力する。そして、被検査物の検査範囲に関する入力情報に応じてステージ可動範囲を決定し、ステージ可動範囲外への移動を指示する駆動操作入力に対してステージの駆動を禁止する。上記発明によれば、被検査物の検査範囲に応じて、ステージの可動範囲が設定され、その範囲外への移動が禁止されるので、高倍率で観察しながら操作しても、顕微鏡の視野範囲が被検査物の検査範囲外に移動することが防止され、操作性を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
XY方向に駆動可能なステージと、前記ステージ上に載置された被検査物を拡大する光学系とを有する顕微鏡において、駆動操作入力に応答して前記ステージの駆動を指示すると共に、前記ステージの位置情報を受け、前記被検査物の検査範囲に関する入力情報に応じてステージ可動範囲を決定し、当該ステージ可動範囲外への移動を指示する前記駆動操作入力に対して前記ステージの駆動を禁止するステージ駆動制御部を有することを特徴とする電動ステージ付き顕微鏡。
IPC (6件)：
G02B 21/24 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68 ,  H01J 37/20
FI (6件)：
G02B 21/24 ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 K ,  H01J 37/20 C ,  G01N 1/28 W ,  G01N 21/88 645 A
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特開平4-014743
  • ステージ制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-302602   出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ
  • 特開平4-014743

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