特許
J-GLOBAL ID:200903066627024440
研磨フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
多田 公子 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-008269
公開番号(公開出願番号):特開平11-207639
出願日: 1998年01月20日
公開日(公表日): 1999年08月03日
要約:
【要約】【課題】 研磨作業中の研磨層表面の剥離や研磨屑を低減し、フェルール表面の傷の発生を大幅に防止できる研磨フィルムを提供する。【解決手段】 表面の中心線平均表面粗さ(Ra)が0.10〜1.00μmの支持体上に、平均粒径10〜50nmのシリカ及び/またはアルミナを含有する厚さ1〜10μmの研磨層を設けてなることを特徴とする研磨フィルム。
請求項(抜粋):
【請求項1】 表面の中心線平均表面粗さ(Ra)が0.10〜1.00μmの支持体上に、平均粒径10〜50nmのシリカ及び/またはアルミナを含有する厚さ1〜10μmの研磨層を設けてなることを特徴とする研磨フィルム。
IPC (2件):
B24D 11/00
, B24D 3/00 320
FI (2件):
B24D 11/00 B
, B24D 3/00 320 A
引用特許:
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