特許

J-GLOBAL ID：200903066637260932

ウェハ位置揃え装置

発明者： 川崎 篤
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045091
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231030
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 完全な円板状のウェハにおいても確実にウェハの位置を揃えることが可能なウェハ位置揃え装置を提供する。【構成】 表面の周縁部から内側至近位置に少なくとも1つの凹部2を有するウェハ1と、ウェハ1を載置し、このウェハ1を回転させる回転手段3と、ウェハ1の周縁部に電磁波を照射する照射手段5と、電磁波の透過量を検出する検出手段6,7と、を備えている。検出手段6,7によって検出した電磁波の透過量により、ウェハ1の位置を揃えるようにしたものである。回転手段3により表面の周縁部に凹部2を有するウェハ1を回転させながら、その凹部2を含む周縁部に沿って電磁波を照射する。凹部2に電磁波が照射された時に変化する電磁波の透過量を検出することにより、完全な円形のウェハ1に対しても容易でしかも確実にウェハの位置を揃えることができる。

請求項（抜粋）：

表面の周縁部から内側至近位置に少なくとも1つの凹部を有するウェハの位置を揃えるための装置であって、前記凹部における電磁波の透過量を検出することにより、前記ウェハの位置を揃えるようにしたことを特徴とするウェハ位置揃え装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/26 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/30 503 Z ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-145811
  
• 特開平4-014811
  
• 埋設管路の診断方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-356891   出願人：株式会社栗本鐵工所