特許
J-GLOBAL ID：200903066671836932

MEMSミラースキャナ

発明者：
寅屋敷 治

寅屋敷 治 について

, 
三崎 登紀子

三崎 登紀子 について


出願人/特許権者：
住友精密工業株式会社

住友精密工業株式会社 について


代理人 (3件)： 穂上 照忠 ,  杉岡 幹二 ,  千原 清誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-013407
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201520
出願日： 2005年01月20日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】静電駆動用MEMSミラースキャナにおいて、部品点数の削減と製造プロセスの簡素化により、製造コストの低減と品質の向上を図る。【解決手段】 上下2層の基板10A,10Bで構成され、上層基板10Aは、一対のサスペンションビーム間で揺動支持可能に構成したミラー11と、サスペンションビームに沿ってミラー11の揺動軸方向に直交する両側に静電駆動部を備えたシリコン材からなり、下層基板10Bは、ミラー11が揺動可能なように空間が形成された絶縁材料からなり、上層基板10Aは、揺動軸を含み、上層基板の厚み方向に平行な面を対称面として揺動する部分が幾何学的に非対称になるように形成されている。【選択図】 図1A
請求項（抜粋）：
上下2層の基板で構成され、 前記上層基板は、一対のサスペンションビーム間で揺動支持可能に構成したミラーと、前記サスペンションビームに沿って前記ミラーの揺動軸方向に直交する両側に静電駆動部を備えたシリコン材からなり、 前記下層基板は、前記ミラーが揺動可能なように空間が形成された絶縁材からなり、 前記上層基板は、前記揺動軸を含み、上層基板の厚み方向に平行な面を対称面として前記揺動する部分が幾何学的に非対称に形成されていることを特徴とする 静電駆動型MEMSミラースキャナ。
IPC (3件)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08
FI (3件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 E
Fターム (9件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73
引用特許：
出願人引用 (4件)
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