露光方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-321390
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133432
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】露光装置において、感光材料上に結像させる露光パターンの品質の低下を抑制する。【解決手段】光源から発せられた紫外または紫色の波長を持つ光Leを反射させる変調素子82を2次元状に多数配列してなる変調素子アレイ部81、上記光Leを透過させる透過材からなる光透過窓部87、および上記変調素子アレイ部81を光透過窓部87との間に密封するための密封カバー部88を有する空間光変調器80であって、上記光透過窓部87が、この光透過窓部87の表面G0中の露光光路外領域G2のみへの光の照射を受けて上記密封空間M中に存在する浮遊粒子Rが露光光路外領域G2に堆積せしめられた空間光変調器80を用いて、光透過窓部87を通って入射した上記光源66から発せられた光Leを上記変調素子82で反射させ空間光変調させて光透過窓部87から射出させ、この射出させた光Leを感光材料上に結像させてこの感光材料を露光する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

紫外または紫色の波長を持つ光を発する光源と、前記光を変調させる変調素子を2次元状に多数配列してなる変調素子アレイ部、前記光を透過させる透過材からなる光透過窓部、および前記変調素子アレイ部を前記光透過窓部との間に密封するための密封カバー部を有し、前記光透過窓部を通って入射した前記光源から発せられた光を前記変調素子アレイ部で反射させ空間光変調して前記光透過窓部から射出させる空間光変調器と、前記光透過窓部を通して射出させた前記空間光変調させた光を感光材料上に結像させる結像光学系とを備え、前記感光材料を露光する露光装置であって、前記光透過窓部が、該光透過窓部の前記変調素子アレイ部の側の表面中における、前記感光材料を露光するための前記光を通す領域から外れた露光光路外領域のみへの光の照射を受けて、前記変調素子アレイ部の密封されている密封空間中に存在する浮遊粒子が前記露光光路外領域に堆積せしめられたものであることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 , G02B 26/08 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/20 501 , G02B26/08 E , H01L21/30 529 , H01L21/30 503G

Fターム (12件)：

2H041AA13 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H097AA03 , 2H097BA02 , 2H097BA03 , 2H097CA17 , 2H097LA20 , 5F046AA22 , 5F046BA07 , 5F046CA03 , 5F046DA27

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光ヘッド及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-149886 出願人：富士写真フイルム株式会社, 富士写真光機株式会社

前のページに戻る