露光ヘッド及び露光装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-149886
公開番号（公開出願番号）：特開2004-001244
出願日： 2002年05月23日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】空間光変調素子の変調速度を速くして、高速露光が可能な露光ヘッド及び露光装置を提供する。【解決手段】露光ヘッドに使用されるDMD50には、主走査方向にマイクロミラーが800個配列されたマイクロミラー列が、副走査方向に600組配列されているが、コントローラにより一部のマイクロミラー列(例えば、800個×100列)だけが駆動されるように制御する。DMD50のデータ処理速度には限界があり、使用する画素数に比例して1ライン当りの変調速度が決定されるので、一部のマイクロミラー列だけを使用することで1ライン当りの変調速度が速くなる。【選択図】図16

請求項（抜粋）：

露光面に対して所定方向と交差する方向に相対移動される露光ヘッドであって、レーザ光を照射するレーザ装置と、各々制御信号に応じて光変調状態が変化する多数の画素部が基板上に2次元状に配列され、前記レーザ装置から照射されたレーザ光を変調する空間光変調素子と、前記基板上に配列された画素部の全個数より少ない個数の複数の画素部の各々を、露光情報に応じて生成した制御信号によって制御する制御手段と、各画素部で変調されたレーザ光を露光面上に結像させる光学系と、を備えた露光ヘッド。

IPC (6件)：

B41J2/44 , B41J2/45 , B41J2/455 , G02B6/42 , G02B27/18 , H01S5/06

FI (4件)：

B41J3/21 L , G02B6/42 , G02B27/18 Z , H01S5/06

Fターム (24件)：

2C162AE28 , 2C162AE47 , 2C162AF06 , 2C162AF14 , 2C162FA04 , 2C162FA18 , 2C162FA44 , 2C162FA48 , 2C162FA50 , 2H037AA03 , 2H037BA03 , 2H037BA05 , 2H037CA16 , 2H037DA03 , 2H037DA04 , 2H037DA05 , 2H037DA06 , 2H037DA15 , 5F073AB02 , 5F073AB05 , 5F073AB27 , 5F073AB28 , 5F073BA09 , 5F073EA14

引用特許：

審査官引用 (9件)

写真焼付装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-329869 出願人：ノーリツ鋼機株式会社
露光照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-339192 出願人：ソニー株式会社
特表平3-501900

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