特許
J-GLOBAL ID：200903066707383565

研磨装置

発明者：
宮下 忠一

宮下 忠一 について

, 
中村 光宏

中村 光宏 について


出願人/特許権者：
不二越機械工業株式会社

不二越機械工業株式会社 について


代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-228059
公開番号（公開出願番号）：特開2006-043815
出願日： 2004年08月04日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】複数個のカラーの交換を効率良く行うことのできる研磨装置を提供する。【解決手段】インターナルギアの内歯と太陽ギアの外歯の少なくとも一方が、ギア本体に上方に突出して固定されたピン体22と、下方に開放する有底円筒状をなし、該ピン体22に外嵌されるカラー24とを有する複数個の歯部20からなり、複数個のカラー24が、カラー24を保持するホルダー25ごと交換可能に設けられていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークを保持するキャリアの外歯が、インターナルギアの内歯と太陽ギアの外歯にそれぞれ係合することにより、該キャリアが自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、 インターナルギアの内歯と太陽ギアの外歯の少なくとも一方が、ギア本体に上方に突出して固定されたピン体と、下方に開放する有底円筒状をなし、該ピン体に外嵌されるカラーとを有する複数個の歯部からなり、該複数個のカラーが、カラーを保持するホルダーごと交換可能に設けられていることを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
B24B37/04 F ,  H01L21/304 621A
Fターム (4件)：
3C058AA07 ,  3C058CB03 ,  3C058DA06 ,  3C058DA18
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 研磨装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-070907   出願人：スピードファム株式会社
審査官引用 (1件)
  • 研磨装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-070907   出願人：スピードファム株式会社

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