特許
J-GLOBAL ID：200903066752339755
カラーフィルター欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193612
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043097
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】カラーフィルターの欠陥検査装置での検出感度の差をなくし、R、G、Bすべての色を同一の感度で、もしくは特定の規格に基づく感度差によりR、G、B各色の色抜け欠陥を検出できるようにする。【解決手段】光源より光電変換手段までの間の光が通る道筋の途中に色フィルターを使用する。
請求項（抜粋）：
液晶表示装置用カラーフィルター上に光を照射する光源と、前記カラーフィルターのパターン部を透過または反射した光を受光し電気信号に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段により得られた電気信号をもとに前記パターン部の白抜け欠陥及び突起欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えてなるカラーフィルター用欠陥検査装置において、光源より光電変換手段までの光が通る道筋の途中に、前記光電変換手段により受光される、カラーフィルターの赤、緑、青各画素部を透過または反射した光の光量をほぼ同一とする色フィルターを設けることを特徴とするカラーフィルター用欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01N 21/88
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
