特許
J-GLOBAL ID：200903066769216061
液滴生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-336714
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142306
出願日： 2005年11月22日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】高い周期で液滴を連続的に生成することができる装置を提供する。【解決手段】オリフィス22に連通するピストン室21に液体を圧送しつつ、ピストン室21内においてピストン23を、狭い間隔を隔てて対向するオリフィス22に向けて往復運動させる。これにより、オリフィス22を経てノズル出口25から射出される液体は、ピストン23の往復運動と同じ周期で振動する脈流となり、当初連続的な液体の流れは、所定の距離だけ走った後、個々の液滴に分離する。この装置では、液体が圧送されているため、生成された液滴の速度が速くなり、それにより高い周期(周波数が数kHz〜100kHz)で液滴を生成することができる。この装置で周期的に生成される液滴ターゲットにパルスレーザ光を照射することにより、極端紫外光をほぼ連続的に生成することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
a)ピストン室と、
b)前記ピストン室に液体を圧送する送液部と、
c)前記ピストン室から外部に液体を送出するオリフィスと、
d)前記ピストン室内において前記オリフィスに向けて所定の周期で往復運動するピストンと、
を備えることを特徴とする、液滴を前記周期で生成するための液滴生成装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G21K 5/08
, H05G 2/00
H01L21/30 531S
, G21K5/08 X
, H05G1/00 K
4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD18
, 5F046GC03
