透明導電膜

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-308449
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075062
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【目的】酸化亜鉛(ZnO)に少なくとも一種以上のドナー不純物と同時にコバルト(Co)もしくはバナジウム(V)を共添加することにより、可視光透過性及び電気抵抗率を大きく損なうことなくZnO系透明導電膜の化学的特性の容易な制御を目的として、新しい不純物共添加ZnO透明導電膜、該薄膜製造するために使用されるターゲット材料及びパターニング技術を提供することを目的としている。【構成】この目的は、ZnOに少なくとも一種類以上のドナー不純物(例えばAl2O3粉末を原材料としてZnに対してAlを約3原子%添加する)と塩化コバルト(CrCl2)もしくは酸化バナジウム(V2O5)粉末を原材料としてZn対してCoもしくはVを0.1から15原子%、好ましくは1から5原子%の範囲で含有する不純物共添加ZnO膜を形成して成る透明導電膜によって達成することができる。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛(ZnO)に少なくとも一種以上のドナー不純物と同時にコバルト(Co)もしくはバナジウム(V)を添加して可視光透過性及び電気抵抗率を大きく損なうことなく、ZnOの化学的特性を制御することを特徴とする不純物共添加ZnO透明導電膜。

IPC (7件)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , C23C 16/40 , H01B 1/08 , H01B 13/00 503 , H01C 17/12 , C03C 17/245

FI (7件)：

H01B 5/14 A , C23C 14/08 C , C23C 16/40 , H01B 1/08 , H01B 13/00 503 D , H01C 17/12 , C03C 17/245 A

Fターム (61件)：

4G059AA08 , 4G059AB07 , 4G059AC12 , 4G059BB04 , 4G059BB12 , 4G059EA07 , 4G059EB04 , 4K029AA04 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029BA49 , 4K029BA50 , 4K029BC05 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029BD03 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029DB08 , 4K029DB20 , 4K029DC05 , 4K029DC07 , 4K029DC12 , 4K029GA05 , 4K030AA03 , 4K030AA11 , 4K030AA20 , 4K030AA24 , 4K030BA01 , 4K030BA02 , 4K030BA05 , 4K030BA08 , 4K030BA10 , 4K030BA11 , 4K030BA18 , 4K030BA19 , 4K030BA22 , 4K030BA26 , 4K030BA29 , 4K030BA42 , 4K030BA43 , 4K030BA47 , 4K030CA05 , 4K030CA06 , 4K030CA07 , 4K030FA10 , 4K030LA01 , 4K030LA11 , 5E032AB10 , 5E032BA15 , 5E032CC14 , 5G301CA27 , 5G301CA30 , 5G301CD03 , 5G301CD04 , 5G307FA01 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC03 , 5G307FC10 , 5G323CA01

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