特許

J-GLOBAL ID：200903066796946896

薄膜形成装置

発明者： 町田 克之 ,  久良木 億 ,  井関 出 ,  上山 勉
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社 ,  大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319284
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135623
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 大面積の基板に対して表面が平坦で均一な膜厚の薄膜を容易にかつ低コストで転写する。【解決手段】 第1、第2のプレート2,5を上下に対向配置し、第1のプレート2の下面にウエハ3を装着する。第1、第2のプレート2,5間にシートフイルム6を配置し、その外周縁部をフィルム保持機構16によって保持する。第2のプレート5を上昇させてシートフィルム6に接触させ、加熱ヒータ8によって加熱する。加熱されると、シートフィルム6は熱膨張により伸張して弛みが生じるので、押えリング35によってシートフィルム6の外周部を押圧し緊張させる。第1のプレート2を下降させてウエハ3をシートフィルム6に押し付けることにより、フィルム表面に形成されている薄膜をウエハ6に転写する。

請求項（抜粋）：

互いに相対移動自在に対向して配設され、いずれか一方のプレートの対向面に基板が装着され、他方のプレートの対向面に薄膜を有するシートフィルムが装着される第1、第2のプレートと、前記基板とシートフィルムの少なくとも一方を加熱する加熱手段と、前記第1のプレートまたは第2のプレートの少なくともいずれか一方を移動させて前記基板と前記シートフィルムを所定の時間押し付けて前記薄膜を基板に転写する加重機構と、前記シートフィルムを保持するフィルム保持機構と、前記フィルム保持機構によって保持されたシートフィルムを押圧し緊張させるフィルム緊張機構とを備えたことを特徴とする薄膜形成装置。

IPC (4件)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/768

FI (4件)：

H01L 21/31 A ,  H01L 21/285 Z ,  H01L 21/316 B ,  H01L 21/90 P

Fターム (22件)：

4M104BB02 ,  4M104DD31 ,  5F033HH08 ,  5F033RR09 ,  5F033SS00 ,  5F033SS21 ,  5F033XX00 ,  5F045AB32 ,  5F045AD08 ,  5F045BB01 ,  5F045BB08 ,  5F058BA06 ,  5F058BA09 ,  5F058BC05 ,  5F058BF47 ,  5F058BF80 ,  5F058BG01 ,  5F058BG03 ,  5F058BG04 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ01 ,  5F058BJ02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄膜形成装置および薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-048899   出願人：日本電信電話株式会社