特許
J-GLOBAL ID：200903066798601993
製造システムおよび製造方法および製造装置の操作方法および発光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-028152
公開番号（公開出願番号）：特開2003-301259
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 極めて高純度のEL材料を用いて蒸着を行い、発光素子の信頼性及び輝度を高める製造システムを提供する。また、EL材料を効率よく使用する。【解決手段】 ガラス瓶を用いず、材料メーカー18で蒸着装置に設置される予定の容器(第1の容器11a)にEL材料12を直接、昇華精製または収納し、搬送後に発光装置メーカー19で蒸着を行う製造システムとすることで、高純度なEL材料への不純物混入防止を実現するものである。また、ガラス瓶から容器に移しかえる作業をなくすことができる。また、容器を材料メーカーに回収させて、容器に残ったEL材料を取り出し、再利用する製造システムとしてもよい。
請求項（抜粋）：
材料メーカーにて、第1の容器内に蒸着材料を精製または収納し、さらに蒸着材料を収納した前記第1の容器を第2の容器で密閉する第1段階と、前記第2の容器を発光装置メーカーに搬送する第2段階と、前記発光装置メーカーにて、製造装置内に前記第2の容器を導入し、前記第2の容器の中から前記第1の容器を取り出して配置する第3段階と、前記製造装置内で前記第1の容器を加熱して蒸着を行う第4段階と、を有することを特徴とする製造システム。
IPC (4件)：
C23C 14/24
, C23C 14/00
, H05B 33/10
, H05B 33/14
C23C 14/24 Z
, C23C 14/00 B
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BC07
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB12
, 4K029DB15
