特許
J-GLOBAL ID：200903066817805350
高周波電源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 塩谷 隆嗣
, 古澤 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-101593
公開番号（公開出願番号）：特開2006-286254
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】反射係数が最小となる出力周波数を迅速に求め、その出力周波数に調整して高周波を出力する高周波電源装置を提供する。【解決手段】高周波電源装置1は、高周波電力の供給に応じて高周波電力の反射特性が時間的に変動する負荷Lに対して高周波電力を供給するものであって、高周波電力を発生する周波数変更可能な発振部14及び増幅部15と、負荷Lに入射される高周波電力と負荷Lから反射される高周波電力を検出するパワー検出部16と、パワー検出部16で検出された負荷Lへの入射電力と負荷Lからの反射電力とに基づいて反射係数を算出する反射係数算出部17と、予め設定された周波数範囲内で周波数を変化させて発振部14及び増幅部15から高周波電力を発生させ、反射係数算出部17で算出される反射係数が最小となる周波数を求め、求められた周波数の高周波電力を発振部14及び増幅部15で発生させ、負荷Lに供給する制御部12とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
高周波電力の供給に応じて当該高周波電力の反射特性が時間的に変動する負荷に対して前記高周波電力を供給する高周波電源装置であって、
前記高周波電力を発生する周波数変更可能な電力発生手段と、
前記負荷に入射される高周波電力と前記負荷から反射される高周波電力を検出する電力検出手段と、
前記電力検出手段で検出された前記負荷への入射電力と前記負荷からの反射電力とに基づいて反射係数を算出する反射係数算出手段と、
予め設定された周波数範囲内で周波数を変化させて前記電力発生手段から前記高周波電力を発生させ、前記反射係数算出手段で算出される反射係数が最小となる周波数を求める周波数探索手段と、
前記周波数探索手段で求められた周波数の高周波電力を前記電力発生手段で発生させ、前記負荷に供給する電力供給制御手段と、
を備えたことを特徴とする、高周波電源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H1/46 R
, H01L21/302 101G
5F004BB11
, 5F004BC08
, 5F004CA08
, 5F004CB05
