特許
J-GLOBAL ID：200903066846913420
チャックテ-ブル検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015921
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216227
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウェーハ等の被加工物の加工工程において、洗浄後のチャックテーブルの載置面を検査して異物の排除を確実にできるようにしたチャックテーブル検査方法を提供する。【解決手段】 研削装置等で被加工物を載置するチャックテーブルの位置に対応させて光学手段を配設し、この光学手段で洗浄後のチャックテーブルの載置面を撮像しその画像をCPUにて画像処理して異物の有無を検査する。異物のない画像を予めCPUに記憶させておき、この画像と前記洗浄後に撮像した画像とを比較し、一致しない部分を異物と判断する。異物がないと判断された場合は半導体ウェーハ等の被加工物をチャックテーブルに載置し、異物があると判断された場合には、チャックテーブルの洗浄と検査とを繰り返して行い、異物なしを確認した後に被加工物をチャックテーブルに載置する。
請求項（抜粋）：
被加工物を吸引保持し加工手段によって加工した後、この被加工物をチャックテーブルから外し次の被加工物をチャックテーブルに載置する前に、そのチャックテーブルの載置面を検査するチャックテーブル検査方法であって、チャックテーブルの表面を洗浄する第1の工程と、エアーを噴出してチャックテーブルの表面から洗浄水を排除する第2の工程と、チャックテーブルの載置面を光学手段によって撮像し画像を取り込む第3の工程と、画像処理によって異物を検出する第4の工程と、異物がないと判断した場合被加工物をチャックテーブルに載置する第5の工程と、異物があると判断した場合前記第1の工程乃至第4の工程を繰り返す第6の工程と、から構成されるチャックテーブル検査方法。
Fターム (11件)：
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA20
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031HA13
, 5F031JA04
, 5F031MA22
, 5F031MA33
, 5F031PA24
