特許
J-GLOBAL ID：200903066849724998
搬送方法および装置ならびにそれを用いた半導体装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-366243
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188316
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】 搬送容器の入れ替えおよび搬送を自動化して工場全体の自動化を図る。【解決手段】 半導体ウェハ1を収容可能なFOUP2間における半導体ウェハ1の移し替えが行われる移し替え部4と、複数のFOUP2を保管可能なストッカー5と、移し替え部4とストッカー5との間でFOUP2を移動させるクレーン7とによって構成され、半導体ウェハ1をFOUP2から他のFOUP2に移し替える移し替え部4と、FOUP2の保管を行うストッカー5とが一体化されたことにより、半導体ウェハ1の移し替え時のFOUP2の配置および移し替え後のFOUP2の移動を自動で行うことができる。
請求項（抜粋）：
保管部に保管された搬送容器を移し替え部に移動して前記移し替え部に設けられたローダに自動で前記搬送容器を配置する工程と、前記搬送容器間で移し替え手段によって被処理物を移し替える工程と、前記被処理物の移し替え後、前記ローダから前記保管部に自動で前記搬送容器を移動する工程とを有することを特徴とする搬送方法。
Fターム (19件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA09
, 5F031DA17
, 5F031EA12
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031FA09
, 5F031FA11
, 5F031FA13
, 5F031GA43
, 5F031GA58
, 5F031GA59
, 5F031JA49
, 5F031MA23
, 5F031MA24
, 5F031MA27
, 5F031NA02
, 5F031NA09
