特許

J-GLOBAL ID：200903066871696710

光熱変換測定装置及びその方法

発明者： 高松 弘行 ,  甘中 将人 ,  森本 勉 ,  釘宮 敏洋 ,  後藤 裕史
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-361031
公開番号（公開出願番号）：特開2005-127748
出願日： 2003年10月21日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 試料の光熱効果による特性変化を,安定的に高精度で測定でき,さらに,消費電力の増加や高コスト化,S/N比の低下,測定時間の長時間化を防止しながら高感度かつ容易に測定できること。 【解決手段】 試料6の所定の測定部に励起光としてレーザ光を照射する励起光源1と,所定の測定光及び参照光を出射するレーザ光源7と,試料6の測定部に接して設けられ前記測定光を通過させて前記測定部との界面で前記測定光を1回全反射させる透明体5と,前記励起光の強度変化に対する前記界面での全反射後の前記測定光の位相変化を測定する位相変化測定部18とを具備し,位相変化測定部18は,前記測定光とこれと光周波数が異なる所定の参照光との干渉光の強度を光電変換する光検出器14と,得られた干渉光の強度信号に基づいて前記測定光の位相変化を算出する信号処理装置14とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の測定部に励起光が照射された試料の光熱効果により前記試料に生じる特性変化を測定する光熱変換測定装置において, 所定の測定光を出射する測定光出射手段と, 前記試料の前記測定部に接して設けられ前記測定光を通過させて前記測定部との界面で前記測定光を1回又は複数回全反射させる透明体と, 前記励起光の強度変化に対する前記界面での全反射後の前記測定光の位相変化を測定する位相変化測定手段と, を具備してなることを特徴とする光熱変換測定装置。

IPC (3件)：

G01N25/18 ,  G01N21/27 ,  G01N21/45

FI (3件)：

G01N25/18 H ,  G01N21/27 C ,  G01N21/45 A

Fターム (24件)：

2G040AA02 ,  2G040AB12 ,  2G040BA25 ,  2G040CA23 ,  2G040EC02 ,  2G040ZA01 ,  2G059AA02 ,  2G059DD15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG06 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光熱変換分光分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-035105   出願人：株式会社分子バイオホトニクス研究所

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-063945
  
• 光熱変換法を利用したスラブ光導波路を有するセンサー及び光熱変換法を利用した検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-248969   出願人：工業技術院長
• 特開昭63-277957
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 光熱変位計測による材料評価