特許
J-GLOBAL ID:200903066889795006
圧電フレーム及び圧電デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 信和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-340409
公開番号(公開出願番号):特開2009-164775
出願日: 2007年12月28日
公開日(公表日): 2009年07月23日
要約:
【課題】 一対の振動腕(31)の根元(321)に段差または溝を生じさせない音叉型の圧電振動片を有する圧電フレーム(50)を提供する。【解決手段】 圧電フレーム(50)は、基部(39)から第1方向に延びる少なくとも一対の振動腕(31)を有しこの一対の振動腕(31)に第1励振電極(35)及び第2励振電極(36)を有する音叉型圧電振動片(30)と、この一対の振動腕(31)の間から第1方向に延びる第1支持部(23)と、この第1支持部と接続し音叉型圧電振動片を囲む外枠部(51)と、第1励振電極(35)及び第2励振電極(36)にそれぞれ導通し、外枠部(51)に形成された第1接続電極(33)及び第2接続電極(34)と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基部から第1方向に延びる少なくとも一対の振動腕を有し、この一対の振動腕に第1励振電極及び第2励振電極を有する音叉型圧電振動片と、
この一対の振動腕の間から前記第1方向に延びる第1支持部と、
この第1支持部と接続し、前記音叉型圧電振動片を囲む外枠部と、
前記第1励振電極及び第2励振電極にそれぞれ導通し、前記外枠部に形成された第1接続電極及び第2接続電極と、
を備えることを特徴とする圧電フレーム。
IPC (7件):
H03H 9/19
, H03H 3/02
, H03H 9/02
, H03H 9/215
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
FI (9件):
H03H9/19 J
, H03H3/02 C
, H03H3/02 D
, H03H9/02 D
, H03H9/215
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
Fターム (19件):
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF03
, 5J108FF05
, 5J108FF11
, 5J108GG03
, 5J108GG13
, 5J108GG18
, 5J108KK01
, 5J108KK07
, 5J108MM11
, 5J108NA03
引用特許:
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