特許

J-GLOBAL ID：200903066896271560

マイクロ構造体及びその製造方法

発明者： 加藤 貴久 ,  虎島 和敏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-197130
公開番号（公開出願番号）：特開2004-034256
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】大きなねじり角でも小型で、不要振動の少ない、長寿命のマイクロ構造体、及びその製造方法を提供する。【解決手段】可動板が弾性支持部によって前記支持基板に対してねじり軸を中心にねじり振動自在に支持されているマイクロ構造体であって、凹部が形成される第1の区間の両端が形成されない第2の区間を配置して構成され、第2の区間は、前記可動板、及び前記支持基板と接続していることを特徴とするマイクロ構造体を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

支持基板と可動板からなり、 該可動板が弾性支持部によって前記支持基板に対してねじり軸を中心にねじり振動自在に支持されているマイクロ構造体であって、 前記弾性支持部は、少なくとも1つ以上の凹部を有し、 前記凹部が形成される第1の区間の両端に前記凹部が形成されない第2の区間を配置して構成され、 該第2の区間は、前記可動板、及び前記支持基板と接続していることを特徴とするマイクロ構造体。

IPC (4件)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

FI (6件)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08 E ,  G02B26/10 C ,  G02B26/10 F ,  G02B26/10 104Z

Fターム (8件)：

2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-345743   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭57-008520
  
• 半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-183043   出願人：株式会社フジクラ