特許
J-GLOBAL ID：200903066897689924
反応室外でのプラズマ発生の抑制方法並びにガスバリア性プラスチック容器の製造方法及びその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
今下 勝博
, 岡田 賢治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-304799
公開番号（公開出願番号）：特開2007-113052
出願日： 2005年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：
【課題】本発明の目的は、排気室でのプラズマの発生を抑制することで、容器の主軸方向に対してガスバリア薄膜の膜厚の均一化を図り、また、排気室及び排気経路での各部品の劣化を生じにくくすることである。【解決手段】本発明に係る反応室外でのプラズマ発生の抑制方法は、プラスチック容器8と反応室3の内部空間30との合成静電容量C1のインピーダンスAと絶縁体スペーサー4と排気室5の内部空間31との合成静電容量C2のインピーダンスBのうち、インピーダンスBを、インピーダンスAを基準として相対的に高めて、排気室5におけるプラズマの発生を抑制することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
反応室にプラスチック容器を収容した後、真空ポンプを作動させて前記反応室の内部ガスを、絶縁体スペーサーによって前記反応室と電気的に絶縁されている排気室を経由して排気し、続いて前記プラスチック容器の内部に原料ガスを減圧された所定圧力下で吹き出させているときに前記反応室に高周波電力を供給して前記原料ガスをプラズマ化させ、前記プラスチック容器の内壁面にガスバリア薄膜を成膜するときに、前記プラスチック容器と前記反応室の内部空間との合成静電容量C1のインピーダンスAと前記絶縁体スペーサーと前記排気室の内部空間との合成静電容量C2のインピーダンスBのうち、インピーダンスBを、インピーダンスAを基準として相対的に高めて、前記排気室におけるプラズマの発生を抑制することを特徴とする反応室外でのプラズマ発生の抑制方法。
IPC (3件)：
C23C 16/505
, B65D 1/00
, B65D 23/02
C23C16/505
, B65D1/00 C
, B65D23/02 Z
3E033AA01
, 3E033BA13
, 3E033CA16
, 3E033EA10
, 3E033FA03
, 3E062AA09
, 3E062AB02
, 3E062AC02
, 3E062JA01
, 3E062JA07
, 3E062JB24
, 3E062JD01
, 4K030AA06
, 4K030BA28
, 4K030BA44
, 4K030CA07
, 4K030CA15
, 4K030FA01
, 4K030JA06
, 4K030JA18
, 4K030KA30
, 4K030KA41
, 4K030LA24
