特許

J-GLOBAL ID：200903066952666963

半導体製造装置の稼動課金方法

発明者： 砂金 養一
出願人/特許権者： ラムリサーチ株式会社
代理人 (1件)： 萩原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-306663
公開番号（公開出願番号）：特開2002-117336
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】 製造メーカーと装置メーカーいずれにとっても利益のある稼動課金方法を提供する。【解決手段】 顧客の仕様に適合した半導体製造装置を貸出し、顧客が稼動させた半導体製造装置の稼動量に応じて課金を行う。

請求項（抜粋）：

顧客の仕様に適合した半導体製造装置を貸出し、前記顧客が稼動させた前記半導体製造装置の稼動量に応じて課金を行うことを特徴とする半導体製造装置の稼動課金方法。

IPC (7件)：

G06F 17/60 332 ,  G06F 17/60 ZEC ,  G06F 17/60 106 ,  G06F 17/60 302 ,  G06F 17/60 342 ,  G06F 17/40 310 ,  H01L 21/02

FI (7件)：

G06F 17/60 332 ,  G06F 17/60 ZEC ,  G06F 17/60 106 ,  G06F 17/60 302 E ,  G06F 17/60 342 ,  G06F 17/40 310 Z ,  H01L 21/02 Z

Fターム (14件)：

5B049BB07 ,  5B049BB58 ,  5B049CC05 ,  5B049CC08 ,  5B049CC34 ,  5B049CC36 ,  5B049DD00 ,  5B049EE01 ,  5B049EE02 ,  5B049FF03 ,  5B049FF04 ,  5B049GG04 ,  5B049GG07 ,  5B049GG09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-285315   出願人：キヤノン販売株式会社, キヤノン株式会社
• 状態通知システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-239828   出願人：株式会社沖データ