特許
J-GLOBAL ID：200903066954881519

ウェーハ位置検出方法及びその検出装置

発明者：
福井 祐子

福井 祐子 について

, 
長崎 達夫

長崎 達夫 について

, 
服部 徹

服部 徹 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 中島 司朗 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-287063
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114347
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、高精度に検出可能でしかも簡便なウェーハ一位置検出方法を提供すること。【解決手段】 ウェーハのエッジの輪郭形状を表すサンプリング点を結ぶ線分の垂直二等分線l3、l4の交点を求め、これらの平均をとってウェーハWの仮の中心点Q2を算出する。そして、ウェーハの仮の中心点Q2から最短距離のある点P4をます抽出し、これを含む左右の所定点を除くサンプリング点に対して等距離にある点を求める。これがウェーハWの真の中心点Q3となる。
請求項（抜粋）：
ウェーハの基準点からウェーハ端縁までの距離データをウェーハ全周に渡って検出し、検出した端縁距離のデータ列に基づいてウェーハの位置を検出するウェーハ位置検出方法であって、距離データ列のなかから所定数の距離データを選択し、当該距離データによって表されるウェーハ端縁の形状を示すサンプリング点の各点から、等距離にある点を幾何学的に求めウェーハの中心点とすることを特徴とするウェーハ位置検出方法。
FI (2件)：
H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 M
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031HA57 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA29 ,  5F031JA32 ,  5F031JA33 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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