特許
J-GLOBAL ID：200903066972544376
高精度ステージ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237984
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079811
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 高精度な移動ステージを実現する。【解決手段】 第1、第2の非線形光学結晶3、12で発生される2次高調波1b、1cを干渉させる光周波数逓倍型干渉計において、大気中での大光路長の変化も干渉縞の1フリンジにしか対応しないというバーニアの原理を利用して、干渉計の光路長を移動台15に載置したコーナーリフレクタ5を用いて線形に大幅に変えて干渉縞の位相を高分解で変化させ、この位相敏感検出信号を反射鏡8、9及びダイクロイック鏡7で構成された2光路型干渉計の反射鏡8を支持する電歪素子10aに加え、反射鏡8の位置を高精度に制御する。
請求項（抜粋）：
非線形光学結晶で発生される第1の高調波と基本波との2つ波長のレーザ光を再度非線形結晶に入射させることにより、上記基本波から再度第1の高調波と同じ波長を有する第2の高調波を得て、第1及び第2の高調波を干渉させる光周波数逓倍型干渉計において、光路の途中に設けた移動台によって光路長を変化させることにより干渉縞の位相を線形に既知の量だけ変化させ、この出力を位相敏感法で光電検出した信号に基づいて、第1の高調波と基本波とで光路を形成する2光路型干渉計の反射鏡の位置を該反射鏡を支持する電歪素子を駆動することにより上記干渉縞の極大値または極小値に制御することによって、反射鏡の位置を制御することを特徴とする高精度ステージ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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