特許
J-GLOBAL ID:200903066992540237

三次元計測装置、フィルタ格子縞板及び照明手段

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 光男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-026096
公開番号(公開出願番号):特開2003-279334
出願日: 2002年02月01日
公開日(公表日): 2003年10月02日
要約:
【要約】【課題】計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。【解決手段】印刷状態検査装置1は、クリームハンダHの印刷されてなるプリント基板Kを載置するためのテーブルと、プリント基板Kの表面に対し位相の異なる正弦波状の3つの光成分パターンを照射するための照射手段を構成する照明装置3と、プリント基板K上の前記照射された部分を撮像するための撮像手段を構成するCCDカメラ4と、プリント基板Kの表面に対し白色光を照射するための白色光照明Lと、基準高さを測定するためのレーザーポインタとを備えている。制御装置7は、白色光照明Lの照射によって得られる画像データからクリームハンダHの存在する領域を特定し、照明装置3照射によって得られる画像データから位相シフト法を用いて、クリームハンダHの高さを演算する。
請求項(抜粋):
計測対象物及びその周囲の非計測対象物に対し、略均一に照射可能な均一光照明と、少なくとも前記計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも2つの光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記均一光の照射された計測対象物及びその周囲の非計測対象物からの反射光を撮像可能、かつ、少なくとも前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記撮像手段にて撮像された均一光による画像データに基づき、前記計測対象物の存在する領域を抽出する領域抽出手段と、前記撮像手段にて光成分毎に撮像された少なくとも2通りの画像データに基づき、少なくとも前記領域抽出手段にて存在領域の抽出された計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/245 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/25
FI (3件):
G01B 11/24 N ,  G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 F
Fターム (20件):
2F065AA53 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG17 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH01 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 三次元計測装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-234718   出願人:シーケーディ株式会社
  • 特開平4-098106
  • 特開昭58-122409

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