特許
J-GLOBAL ID:200903067089762815

三次元計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 光男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-234718
公開番号(公開出願番号):特開2002-048523
出願日: 2000年08月02日
公開日(公表日): 2002年02月15日
要約:
【要約】【課題】計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測に要する時間の短縮を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。【解決手段】印刷状態検査装置1は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板Kを載置するためのテーブル2と、プリント基板Kの表面に対し斜め上方から正弦波状の複数の位相変化する光成分パターンを照射するための照明装置3と、プリント基板Kからの反射光を撮像するためのCCDカメラ4とを備えている。照明装置3から照射される光成分パターンは、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係が異なる。CCDカメラ4は、反射光を各光成分毎に分離して一度に撮像する。制御装置7は、撮像データに基づき位相シフト法によりクリームハンダの高さを演算する。
請求項(抜粋):
少なくとも計測対象物に対し、縞状の光強度分布を有するとともに、互いに異なる波長成分を有し、互いに相対位相関係の異なる複数の光成分パターンを同時に照射可能な照射手段と、前記光成分パターンの照射された計測対象物からの反射光を各光成分毎に分離して撮像可能な撮像手段と、前記異なる相対位相関係下において前記撮像手段にて撮像された複数通りの画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
IPC (6件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/25 ,  G06T 1/00 315 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60 150
FI (6件):
G01B 11/02 H ,  G06T 1/00 315 ,  G06T 7/00 C ,  G06T 7/60 150 S ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 E
Fターム (48件):
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065LL25 ,  2F065LL26 ,  2F065LL41 ,  2F065NN05 ,  2F065NN11 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ26 ,  2F065RR05 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA01 ,  5B057CA13 ,  5B057CA16 ,  5B057DB03 ,  5B057DB06 ,  5B057DC03 ,  5B057DC09 ,  5L096AA02 ,  5L096AA09 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096CA17 ,  5L096FA66 ,  5L096GA40 ,  5L096HA01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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